溅射涂层概述
溅射涂层是一种用于SEM(扫描电子显微镜)应用的样品制备技术。通常，这种方法在成像过程中成为必不可少的步骤，原因有几个:减少样品的电荷，增强二次电子发射，增强热传导，减少样品所承受的整体损伤。仅就这些好处而言，溅射涂层是一种非常可取的技术，可在显微镜中产生高质量的结果。
溅射涂层的功能原理包括产生金属等离子体，随后沉积在样品上。在样品上喷涂等离子体必须以一种细致和可控的方式进行，这就是为什么自动化和准确的涂层过程比依赖用户干预更有优势。用户之间的差异会导致涂层不均匀，并大大减慢生产效率。
LUXOR磁控溅射镀膜机优先考虑优化溅射镀膜工艺所需的关键方面:
精细化技术防护
自动化
用户安全
- 样品倒置安装:
- 交换样品很容易
- 大电流电线是隐藏的
- 去除松散的材料和颗粒
- 三重功能:
- 溅射协议
- 除气方案(多孔样品)
- 干燥程序(湿样品)
- 一次运行最多可处理6个样品
- 不需要操作员干预:
- 真空
- 溅射电流
- 溅射时间
- 可再生的涂料
- 确定涂层厚度后自动操作
- 溅射室底部的磁控管头-外部没有高电压
- 双层内爆保护层硼硅玻璃
- PET(正电子发射断层扫描)屏蔽
- 不需要额外的工具(钳子，专门的仪器)来替换样品
- 内置触摸屏管理过程
金色喷涂机
卢克索非盟溅射设备是专门为应用从1到100纳米厚度的细颗粒金涂层的样品使用扫描电子显微镜．这些设备以其一致性和应用于标本上的金层的同质性而闻名，这一事实表明了用户在操作LUXOR时可以期望的再现性非盟乐器。
铂溅射涂布机
卢克索Pt溅射装置是场发射电子显微镜-完全兼容具有场发射源的台式sem．铂涂层适用于需要显著增加放大倍数的情况，因为它具有高电子发射和与该金属薄膜相关的涂层厚度(大约是金涂层所需厚度的一半)。而不是一个脆弱的涡轮分子泵发现在不同的铂涂层，LUXORPt采用双级真空泵。光束敏感的样品收到一个额外的保护层，从损害以及与此溅射涂布机。
溅射涂层实例
