溅射涂布机

溅射涂层概述

溅射涂层是一种用于SEM(扫描电子显微镜)应用的样品制备技术。通常,这种方法在成像过程中成为必不可少的步骤,原因有几个:减少样品的电荷,增强二次电子发射,增强热传导,减少样品所承受的整体损伤。仅就这些好处而言,溅射涂层是一种非常可取的技术,可在显微镜中产生高质量的结果。

溅射涂层的功能原理包括产生金属等离子体,随后沉积在样品上。在样品上喷涂等离子体必须以一种细致和可控的方式进行,这就是为什么自动化和准确的涂层过程比依赖用户干预更有优势。用户之间的差异会导致涂层不均匀,并大大减慢生产效率。

LUXOR磁控溅射镀膜机优先考虑优化溅射镀膜工艺所需的关键方面:

精细化技术防护

自动化

用户安全

  • 样品倒置安装:
    • 交换样品很容易
    • 大电流电线是隐藏的
    • 去除松散的材料和颗粒
  • 三重功能:
    • 溅射协议
    • 除气方案(多孔样品)
    • 干燥程序(湿样品)
  • 一次运行最多可处理6个样品
  • 不需要操作员干预:
    • 真空
    • 溅射电流
    • 溅射时间
  • 可再生的涂料
  • 确定涂层厚度后自动操作
  • 溅射室底部的磁控管头-外部没有高电压
  • 双层内爆保护层硼硅玻璃
  • PET(正电子发射断层扫描)屏蔽
  • 不需要额外的工具(钳子,专门的仪器)来替换样品
  • 内置触摸屏管理过程

金色喷涂机

卢克索非盟溅射设备是专门为应用从1到100纳米厚度的细颗粒金涂层的样品使用扫描电子显微镜.这些设备以其一致性和应用于标本上的金层的同质性而闻名,这一事实表明了用户在操作LUXOR时可以期望的再现性非盟乐器。

  • 10万倍放大应用
  • 明显提高样品的导电率
  • 增强二次电子发射

铂溅射涂布机

卢克索Pt溅射装置是场发射电子显微镜-完全兼容具有场发射源的台式sem.铂涂层适用于需要显著增加放大倍数的情况,因为它具有高电子发射和与该金属薄膜相关的涂层厚度(大约是金涂层所需厚度的一半)。而不是一个脆弱的涡轮分子泵发现在不同的铂涂层,LUXORPt采用双级真空泵。光束敏感的样品收到一个额外的保护层,从损害以及与此溅射涂布机。

  • 一百万倍放大的应用
  • 通常适用于FEG-SEM(场发射枪扫描电子显微镜)的高分辨率图像
  • 各种金属兼容性(金和铂)
  • 显著提高二次电子发射

溅射涂层实例

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