在阴极发光(CL)成像wavelength-dependent强度(频谱)通常是研究。除了发射波长(颜色),光也具有波矢量,动量和波的传播方向。发射光的方向包含有价值的信息关于纳米对象发射和散射光。也是一个重要的性能指标对电浆天线结构和能带结构信息提取周期系统,如光子晶体。
收集的CL排放是铝制抛物面镜和重定向扫描电镜室向二维CCD或CMOS成像阵列在一个平行光束。这允许全面检索梁强度剖面。如下所示是一个实验性的单晶金衬底剖面测量,对镜几何纠正。实验(左边)演示了整个梁剖面和相关理论的例子(右边)。这个示例使用了一个SEM激励一个黄金nanopillar和CL的角度测量辐射散发出来的支柱。在这个例子中,辐射是环形,CL信号垂直或平行于表面。每一个点在这个概要文件可以直接关联到一个特定的发射角上角半球CL收集。这种成像技术在光学也被称为“傅里叶”成像,指的是一个图像的动量(角)空间而不是真实的空间。
领域的缺失数据对应的洞的顶部镜子镜子(中心)和开放的探测器(底部)。SPARC是唯一商用解决方案angle-resolved CL镜子成像,因为里面设备及其定位阶段。镜子收集1.46π球面度CL的上半球发射的样本。例如,实心球是4π球面度,辐射从上半部分收集的只能在理想情况下,离开2π球面度可供收藏。损失的镜子对探测器和电子束,连同周围的镜子被略高于相同导致¼的损失,给我们1.46π球面度集合区。这相当于数值孔径是0.96,1.0的完美集合在空气中,并能够收集88⁰方位的角度,从90年⁰有限,因为孔的顶部的镜子电子束黄金角剖面对应于一个环形模式因为CL排放由跃迁辐射(TR),这个角模式所示,再一次,同意与理论。
这种测量不兼容标准光谱成像,但颜色过滤器可以用于隔离某些光谱范围自角剖面为不同的发射波长可以改变深刻。角度解决测量,包括与偏振器研究极化angle-resolved组合效果,完全可以在SPARC作为一个全能型模块化的设备。