大量基于电子显微镜的成像技术存在，以提供独特的对比材料。阴极发光(CL)成像收集和测量电子束直接照射在材料上产生的光。获得CL成像的最快和最简单的方法是进行强度映射。该方法使用单像素光探测器记录每个光束位置的CL强度。
有两种方法可以达到这一目的:全色阴极发光和滤色阴极发光。全色成像在检测范围内的所有波长(颜色)上平均CL信号。色彩过滤的CL强度映射可以通过引入一个颜色过滤器来执行。
光电倍增管
SPARC阴极发光系统使用光电倍增管(PMT)光探测器与滤光轮结合。这允许在7个不同波长波段进行强度映射(第8个条目为空，允许全色成像)。
该PMT探测器是快速，灵敏，并有一个大的检测区域，允许快速扫描大样本区域与高分辨率。像素停留时间可低至每像素1µs，实现视频速率阴极发光成像。大于0.5 × 0.5 mm的区域可以在一次扫描中覆盖，使其成为扫描较大尺度结构或制作CL概览图像的理想选择。这是用来确定更深入的CL研究感兴趣的区域(例如CL光谱)。
下图左边是扫描电子显微镜图像，右边是阴极发光测量。右边的额外细节是使用PMT和光谱的蓝色和绿色部分的三个滤波器获得的。CL测量所揭示的这些附加细节有助于确定晶体生长、分区、缺陷和其他感兴趣的伪影的细节。
