术——纳米科学仪器 - 万博manbetx正规品牌

轮廓测量技术用于提取地形数据从一个表面。这是一个单点,一条线扫描甚至全三维扫描。术的目的是让表面形态,高度和表面粗糙度。这可以通过使用一个物理探测器或通过使用光。

计量是测量的科学。样品有多粗?的功能有多高?面积有空洞或粒子的多少?缺陷密度是多少?这些问题的答案往往是量化使用轮廓测定法。

轮廓曲线仪是如何工作的

所有轮廓曲线仪至少由两部分组成——一个检测器和一个样品阶段。探测器决定样本上的点在哪里,样品阶段是什么样品。在一些系统中,样品阶段允许测量,在其他探测器移动和在一些移动。

有两种类型的轮廓曲线仪:笔vs光学。针表面光度仪使用探针检测表面,身体移动探头表面以获得表面的高度。这样做是机械力反馈回路,监视器从样例推高对沿表面扫描探针。一个反馈系统是用来防止手臂与特定的扭矩,称为“定位点”。臂架的Z位置的变化可以用来重建表面。

针表面光度仪使用探针检测表面,身体移动探头表面以获得表面的高度。这样做是机械力反馈回路,监视器从样例推高对沿表面扫描探针。一个反馈系统是用来防止手臂与特定的扭矩,称为“定位点”。臂架的Z位置的变化可以用来重建表面。

针术需要力反馈和身体接触的表面,因此,尽管它是极为敏感的部位,提供高Z决议,是敏感柔软的表面和探针可以成为污染的表面。这种技术也可以破坏一些表面。

因为针表面光度仪包括物理运动在X, Y和Z,同时保持接触的表面,它是低于非接触式技术。万博max体育针头大小和形状可以影响测量和限制横向分辨率。

光学轮廓测量使用光而不是物理探测。这可以通过多种方式进行。这种技术的关键组件是指导光在某种程度上,它可以检测表面3 d。例子包括光学干涉,使用共焦光圈,专注和相位检测和预测模式在光学图像。

术是一个点共聚焦光学扫描技术用于图像样本表面。它是通过使用小光圈,称为共焦孔径。高度聚焦的光线预计只通过孔径和表面焦平面内将提供一个有用的信号。上面的光学扫描上下表面直到观察到的一个亮点。一旦一个亮点是观察仪器计算表面点的距离,给它点z然后光学扫描表面横向,同时保持重建表面的一个亮点。

通常,软件用于光学仪器可以有困难决定什么是重点,什么是重点。光学的准确性可能限制如何有效解决焦平面。

通过使用先进的光学工程急剧模式只会集中在一个精确的距离,软件和光学在焦平面能够确定什么是更容易和更大的准确性。这也允许更多的灵活性在测量透明样品的投影将只专注于一个真正的表面。

这种组合比聚焦检测技术是稍微复杂但它提供了更精确的测量和简单的软件检测。

模式投影轮廓测量工作时,将一个已知模式到样本和比较什么预计将反映的样本。通过比较这两个样品的表面可以重建软件。

重点检测工作就像我们看待这个世界的方式。仪器确定焦点是什么,重点通过寻找尖锐的对比。鲜明对比的地区被视为焦点,通过了解这个焦距的光学可以确定距离。这通常是通过扫描光学在Z方向和使用相机为了创建一个三维的数据量。获得数据后,失焦的部分去掉,剩下的表示样品的表面。

这种技术也可以由使用变焦显微镜和一个变量集中创建卷。这种技术通常是简单的决议以更低的成本较低。通过使用普通显微镜目标和精密Z运动,X, Y和Z决议可以大大增强;该决议仍低于共焦或干涉测量仪器。