轮廓术是一种从表面提取地形数据的技术。这可以是单点扫描,线扫描,甚至是全三维扫描。轮廓术的目的是得到表面形貌、台阶高度和表面粗糙度。这可以用物理探针或光来完成。
计量学是测量的科学。样品有多粗糙?特征有多高?有多少区域有空洞或颗粒?缺陷密度是多少?这些问题的答案通常用轮廓测量法来量化。
轮廓仪是如何工作的
所有轮廓仪至少由两部分组成——探测器和取样台。检测器决定了样本上的点的位置,而样本台是保存样本的地方。在一些系统中,样品台移动以允许测量,在另一些系统中,检测器移动,在一些系统中两者都移动。
有两种类型的轮廓仪:手写和光学。触控笔轮廓仪使用探针检测表面,物理地沿着表面移动探针以获得表面高度。这是通过一个反馈回路机械地完成的,该反馈回路监测样品沿表面扫描时向上推动探针的力。反馈系统用于保持手臂上的特定扭矩,称为“设定值”。手臂支架Z位置的变化可以用来重建表面。
笔轮廓测定法
触控笔轮廓仪使用探针检测表面,物理地沿着表面移动探针以获得表面高度。这是通过一个反馈回路机械地完成的,该反馈回路监测样品沿表面扫描时向上推动探针的力。反馈系统用于保持手臂上的特定扭矩,称为“设定值”。手臂支架Z位置的变化可以用来重建表面。
共焦轮廓测定法
网格共焦
模式投影与焦点检测
重点检测
焦点检测的工作原理很像我们看世界的方式。该仪器通过寻找鲜明的对比来确定什么是对焦的,什么是失焦的。有强烈对比的区域被认为是焦点,通过知道这个光学焦距,你可以确定距离。这通常是通过扫描Z方向的光学器件并使用相机来创建三维数据量。在获得数据后,将不聚焦的部分切割掉,留下样本表面的表示。